daja潔淨級元件

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膜片閥、球閥

Special Chemical Storage Tank

SCST

客製化生產 DAJA SCST可依客戶需求進行最佳化設計。包括閥的選用、外觀尺寸以及管路方向等,皆能彈性調整。
符合規範 DAJA SCST均採用半導體規範設計,包含安全性設計以及潔淨度要求:
a. 接觸藥劑的表面皆採用EP電解拋光,使其表面粗度Ra <0.13μm
b. 罐體內外皆採用超潔淨清洗製程,使其內表面:
 水氧值 <10ppb
 油脂殘留量 <0.01mg/ft2
 微粒等級 0.1μm <1pcs/scft
c. 在潔淨室裡進行焊接,內焊道無氧化問題
d. 罐體氦氣漏率 <1x10-9atm•cc /sec
e. 罐體保壓測試:1.5倍工作壓力
適用性 可使用於特殊製程藥劑供應系統或分析採樣使用。
生產能力 本廠即具有零件生產能力以及充足庫存,也可彈性生產特殊零件,滿足客戶需求。除了部分閥件,所有管件(如Micro fitting)、接頭 (如VCR)或者手動閥等,皆可自行生產,因此可以大幅降低零件成本。
相關檢測能力 包含氦氣測漏、24小時保壓測試、水氧分析以及微粒分析等能力。可於較短時間內完成焊接、組裝以及測試。